传统流程中,涂敷光刻胶、曝光、显影三大光刻步骤的。
“也就是说,它取代了光刻机,把原先由利用光线将电路图案刻到晶圆上的方式,换成了像盖章那样,压印在了晶圆上的模式。”
他说的很简单,但实际上,整个过程的实现,肯定是不会这么轻巧的。
而且相对而言,在传统芯片制造上,光刻机的重要性是毋庸置疑的,也复杂无比。
首先,要制作光罩,也就是对电子回路刻画在几十张玻璃板上;
然后准备作为制作芯片的衬底晶圆片,先加热晶片使其表面形成氧化膜,再涂上光刻胶,用以改变化学性质的方式,让晶圆成为“相纸”;
光刻胶也是分为正胶和负胶的,前者会在受光后分解并消失,留下未受光区域的图形,而后者,则会在受光后聚合,并让受光部分的图形显现出来。
这个过程,就是曝光和显影了。
而且,处理一个晶片,还不是一次就能完事儿,基本上会来好几次,多重曝光还会达到十次以上。
由此可见,光刻在整个芯片制造过程中的重要性了。
事实上,它也是最昂贵的工艺步骤,其成本,占总成本的30%以上,同时也占据了50%的生产周期。